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标题:【讨论帖】分子泵与扩散泵的关系在抽真空系统中,扩散泵...

feixi[使用道具]
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发表于 2015-9-21 16:26 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【讨论帖】分子泵与扩散泵的关系在抽真空系统中,扩散泵...

相关检测项目：
泵  扩散泵

分子泵与扩散泵的关系在抽真空系统中,扩散泵是作为分子泵的前级抽真空吗?扩散泵的极限压强是多少?分子泵的极限压强是多少?分子泵在多少压强下开始工作?
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分子式[使用道具]
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发表于 2015-9-21 16:27 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
分子泵与扩散泵都是后级泵，只有机械泵是前级泵。分子泵的效率比扩散泵高。
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feixi[使用道具]
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 小中大


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原帖由 分子式 于 2015-9-21 16:27 发表 bbcodeurl('http://bbs.antpedia.com/images/common/back.gif', '%s')
分子泵与扩散泵都是后级泵，只有机械泵是前级泵。分子泵的效率比扩散泵高。

具体这两种泵有何区别？后级泵具体意思？
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xueyouzhang[使用道具]
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 小中大
现在很少用扩散泵了
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feixi[使用道具]
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发表于 2015-9-21 16:28 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大


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原帖由 xueyouzhang 于 2015-9-21 16:27 发表 bbcodeurl('http://bbs.antpedia.com/images/common/back.gif', '%s')
现在很少用扩散泵了

为什么啊？不过GCMS一般都是机械泵 与分子泵
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taoshengyijiu[使用道具]
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 小中大


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原帖由 分子式 于 2015-9-21 16:27 发表 bbcodeurl('http://bbs.antpedia.com/images/common/back.gif', '%s')
分子泵与扩散泵都是后级泵，只有机械泵是前级泵。分子泵的效率比扩散泵高。

分子泵与扩散泵是同样的作用，只是抽气原理不同？
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taoshengyijiu[使用道具]
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 小中大


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原帖由 feixi 于 2015-9-21 16:28 发表 bbcodeurl('http://bbs.antpedia.com/images/common/back.gif', '%s')

为什么啊？不过GCMS一般都是机械泵 与分子泵

扩散泵有返油风险
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发表于 2015-9-21 16:29 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
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 小中大
前级泵-机械泵（旋转泵，极限真空10-2 - 10-4torr)
高真空-油扩散泵、分子涡轮泵（极限真空10-5  - 10-10torr)
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发表于 2015-9-21 16:30 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
分子泵开始工作时，前级真空约为数百到千把毫乇，T家。
分子泵的极限压力是：超短时间直通大气（就是泵叶片变形严重，但还没有断裂或碰撞到相邻定片的极限）。
长时间通大气肯定毁了，过限了。
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