透射电镜之家

FEI，HITACHI，ZIESS这三家的电镜，各有什么优缺点？

就钨灯丝而言：性能差异并不大；价格是主要的差异。
Ziess售后服务的口碑不是很好。

FEI，Zeiss（以前的LEO（Zeiss/Leica/cambridge组成的公司））都是肖特基热场灯丝，束流稳定，图像对比度强。特别是ZEISS的电镜，采用mini column，电子束单次汇聚，能得到较好的光斑，图像清晰。
灯丝的寿命和成本，相对而言冷场灯丝寿命较长，且成本较低；热场灯丝寿命较短，更换灯丝成本较高。
欧美标配大样品腔室，日本的标配小样品腔室。

FEI的前身是飞利浦公司，专业做高端的电镜设备，尤其是操作软件化级别跟高，而日产电镜很明显的是在外观上有很多按钮，操作起来繁复。另外，在上海FEI有专门的应用分析实验室，各种型号设备都很齐全，售后服务就不用说了。

FIE的优势在于Dual-beam FIB,国内使用的FIB绝大多数是他们家的;
HITACHI 的S-4800电镜是主流,销量相当不错,使用也挺顺手的;
ZIESS不清楚

从性能上考虑：
    1，热场电镜有效电子源直径大于冷场电镜，因此分辨率比冷场差。
    2，热场灯丝加热温度为1800K，灯丝寿命相对较短，价格大概为1万美元1根灯丝，后续维护成本高。冷场灯丝只需定时短暂加热，正常使用寿命很长，价格大概为2千美元1根灯丝，维护费用较低。
    3，冷场电镜高真空低电压成像效果和热场低压成像一样优秀，有利于观察样品表面细节。
    4，热场的优热主要集中在电子束流大，束流稳定性好。因此扩展性能上，热场明显优于冷场。
    因此，从分辨率和维护费用上来看，冷场都优于热场。结合我们公司样品分析实际，对于电镜的扩展性能，如EBSD等使用不会太多。因此，建议选择冷场电镜。

从发射枪来看，

冷场，
优势：电子束直径最小，亮度最高，因此影像分辨率最优。灯丝寿命长，价格低，维护成本低。
劣势：
1，发射束流小，稳定性差，EDS分析能力较热场差，不能扩展EBSD，WDS。
2，真空度要求比较高。

热场，
优势：
发射束流大，束流稳定性好，可以安装EBSD分析仪做电子背散射衍射分析。有利于能谱分析。真空要求较低。
劣势：
1，能量散布大，相对来说分辨率差一些。
2，灯丝使用寿命短，维护费用高。

FEI的售后服务不好，太拽了

建议买FEI的，我们公司sem，fib都是FEI

热场的蔡司冷场的日立我都用过，

蔡司东西还算不错，但我这公司对防震要求高，蔡司的不怎么防震，

日立的防震好，就是老要做FLASH，还需要加液氮，

建议，需要连续拍摄选蔡司；需要防震高清倍率用日立；FEI太拽，不签年合同都懒得理你。

这几个品牌我都用过，各有特点，关键要看用在什么领域！

我用过FEI 的SEM magellan 400系列、FIB Heilios 450，感觉还是相当不错的，
尤其在于低电压低电流的情况下，仍然可以保证很好的resolution,
觉得FEI对于DIE level 20nm 以及28nm，还是不错的选择。

但是对于package 方面，我觉得反而不适合，
关键是stage 太低，工作距离没法保证，每次都要打开主chamber，而且没有必要用那么好的设备，

通常情况，我觉得：用HITACHI足够了，
我觉得日立的界面很人性化，而且操作上手简单，不像FEI软件功能那么多，设备占地相对于FEI不太大，也可以得到很高的resolution；
但是在线宽到40nm以下，日立的成像效果就不如FEI那么好，而且对于低电流和低电压下，很难捕捉到理想的图片。

至于蔡司我没有用过SEM系列，但是用过Nanoprobing，还是不错的设备。