小中大【转载】【求助】用STEM做EDX的时候得到的counts数太少
想做个EDX mapping, 但是样品比较大直径在150nm, probe size 是0.5 nm 如果扫很多点的话 需要几个小时, 但是如果选少量的点有很多样品有没有扫到,采集时间如果过长3s以上会使样品打穿,但是依旧得到的counts数不够。 还没有试过defocus或者增大convergence angle 把probe size变大,这样的话分辨率会变差但是得到信号会多么?还是可以用其他什么方法? 大牛们请指点下。