小中大现将两种类型X射线光谱仪的主要部件及工作原理叙述如下：
1、X射线管
两种类的结构示意图。灯丝和型的X射线荧光光谱仪都需要用X射线管作为激发光源。图1-4是X射线管靶极密封在抽成真空的金属罩内，灯丝和靶极之间加高压（一般为50kV）,灯丝发射的电子经高压电场加速撞击在靶极上，产生X射线。X射线管产生的一次X射线，作为激发X射线荧光的辐射源， X射线管产生的X射线透过铍窗入射到样品上，激发出样品元素的特征X射线，正常工作时，X射线管所消耗功率的0.2%左右转变为X射线辐射，其余均变为热能使X射线管升温，因此必须不断的通冷却水冷却靶电极。
