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标题:【求助】AFM图分析：最近用AFM测了薄膜的表面形貌

xgy412[使用道具]
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发表于 2015-12-31 11:42 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【求助】AFM图分析：最近用AFM测了薄膜的表面形貌

AFM图分析：最近用AFM测了薄膜的表面形貌，但是那软件不太会用，比如薄膜上有杂质产生了阴影，平滑什么的不怎么会，还有就是那个剖面图中字母代表什么意思（在图中圈起来的）。我们用的软件是SPI3800I。


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2015-12-31 11:42
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发表于 2015-12-31 11:43 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【回复】

白的那一块要么是样品太高了要么是空气中杂质落上去了
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发表于 2015-12-31 11:43 资料  个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【回复】

Rz是图片中最高点和最低点的距离
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dadaai[使用道具]
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发表于 2015-12-31 11:44 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【回复】

我们将一层氧化物电镀到一个基板上形成金属氧化物薄膜，现在想测量该薄膜的厚度，小弟这里请教各位，有没有什么比较好又实用的方法，
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大大[使用道具]
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发表于 2015-12-31 11:44 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【回复】

横截面的SEM.可以看到厚度的.
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rrra6[使用道具]
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发表于 2015-12-31 11:45 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【回复】

蒸镀的膜现在可以直接控制厚度的，旋涂或其它方式的膜可以SEM来测。
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rrra6[使用道具]
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发表于 2015-12-31 11:46 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【回复】

可以买个无损厚度测定仪
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yuanyuan[使用道具]
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发表于 2015-12-31 11:46 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【回复】

光学显微镜二次聚焦法可以测定
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小妖精@[使用道具]
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发表于 2015-12-31 11:46 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【回复】

光学显微镜二次聚焦法可以测定
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妮子@[使用道具]
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发表于 2015-12-31 11:47 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【回复】

台阶仪就可以！不过不记得具体仪器型号了，但是薄膜必须厚度均匀
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