小中大哎，怎么问这种问题啊？！
SEM:Scanning Electron Microscopy 扫描电子显微镜
TEM:Transmission Electron Microscopy 透射电子显微镜
前者，主要看表面形貌，收集反射束，可以收集二次电子，背散射电子，也能收集特征x射线(EDS)，当然还可以收集俄歇电子（AES)。Hitachi有一款利用In-lens机制的超高分辨率扫描电镜Super-SEM，理论放大倍数能到200万倍，中关村纳米科技中心有一台。
后者，主要测晶体结构，收集透射束，一般用作电子衍射，相貌像，高分辨像。透射束中电子分弹性散射，非弹性散射的（看下图）。弹性散射的电子可作Z衬度像，也叫HAADF像High Angle Annular Dark Field高角环行暗场像，是STEM像一种。非弹性散射电子可以做EELS，Electon Enengy Loss Spectrum，也可作EFTEM像，Enengy Filter Transmission Electron Microscopy,能量过滤像。也可以收集特征X射线作EDX，空间分辨率比SEM高。TEM制样比较复杂，得到的信息解释也相对复杂。
还是多看书吧，很简单的！
