【转载】【求助】离子泵断电

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标题:[未解决]【转载】【求助】离子泵断电

[未解决]本主题悬赏可用分 1

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发表于 2016-2-10 21:56 资料个人空间短消息加为好友

小中大

我们电镜室在一周前断电一次，空调没有自己启动，致使整个电镜断电一天，离子泵停止工作，再开电源离子泵不能正常工作，可以开电源但是10分钟左右断开电源，因那几天下雨，怀疑潮湿的原因，BAKE两天，不行，BAKE完了可以到10-5，一会断开，ACD两小时，ACD完了离子泵上真空值可以到10-5，但是慢慢就真空度变差，到离子泵断开，现在不知道该怎么解决，哪位大侠指点下

nsdm[使用道具]
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发表于 2016-2-10 21:56 资料个人空间短消息加为好友

小中大

看一下PIG1和PIG2的数值是否为32。

jom[使用道具]
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发表于 2016-2-10 21:57 资料个人空间短消息加为好友

小中大

回复 #2 nsdm 的帖子

在哪里看呢？小屏幕么？第几页

大学习[使用道具]
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发表于 2016-2-10 21:58 资料个人空间短消息加为好友

小中大

不要插加热棒，直接ACD heat
最近我这的电镜真空度也相当差，都接近3了，3.5的话，就不建议开灯丝了，再差的话，离子泵就会自动off点的，达到一定值后才会启动
你的用的是2010吧

jom[使用道具]
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发表于 2016-2-10 21:58 资料个人空间短消息加为好友

小中大

回复 #4 大学习的帖子

是2010，可是没有ACD heat 按钮，只有ACD和BEAK钮，怎么操作还望详谈，非常感谢大家的及时回复

大学习[使用道具]
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发表于 2016-2-10 21:59 资料个人空间短消息加为好友

小中大

也就是你所说的ACD钮，这是除污装置，加入液氮后需要将剩余的液氮通过插入加热棒ACD烘烤处理掉，否则会严重影响离子泵
在没有液氮的情况，不加加热棒，直接点击ACD，离子泵会停止工作，2h后就会正常工作，如果还是不行，可以再来一次
但是如果一直没有什么效果的话，建议联系工程师

jom[使用道具]
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发表于 2016-2-10 22:00 资料个人空间短消息加为好友

小中大

回复 #6 大学习的帖子

多次按照工程师的指导进行处理，结果不行，需要日本电子现场诊断，费用要5000元，真是贵，只是诊断一下，工程师电话中估计是离子泵寿命到了，更换一个离子泵费用在10万元以上，实在是贵，经费紧张，要拖很久才有经费，所以哪位大侠有没有什么办法指导维修下离子泵，个人觉得7年换一个离子泵有点负担不起，不知道国内有没有人维修？

大学习[使用道具]
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发表于 2016-2-10 22:01 资料个人空间短消息加为好友

小中大