小中大岛津公司的EPMA-1720,它是这样介绍自己的产品的:
电子探针(EPMA)是用极细的电子束对样品表面进行照射产生特征性X射线,对特征性X射线进行分光和强度测定,得到微小区域的元素组成及样品表面元素浓度分布的分析装置。EPMA 采用波长色散型X 射线分光器(WDS),与能量色散型X 射线分光器(EDS)相比,具有高分辨率的特点。因此,EPMA与扫描型电子显微镜(SEM)配置EDS 检测器比较,可以进行更高精度和更高灵敏度的分析。
检测区域好像就是纳米级别,这属于波散型在微区上的应用吗?