纳米薄纱的成分测定

本人用CVD方法做SnTe,得到大量纳米薄纱(肉眼在衬底上看不到什么东西),尺寸在几个纳米厚,在电镜下高倍看的好基本透明了,但没法去表征它的成分,XRD测出的都是衬底峰,EDS后mapping都会打出其他元素,不准确,因为会吸附空气还有衬底,所以元素比较杂,有没有大神可以指点一下,给个测试方法,在此小弟谢谢了[local]2[/local][local]3[/local][local]4[/local]