质谱真空泵的维护

前期油泵泵的维护
1.安全信息
    泵必须由接受过适当培训的技术员来维护;
    确认该技术员对泵油及系统的产物十分熟悉;
    做维护之前必须将泵停下,降到安全的温度;
    断开泵及其他元件与电路的连接,以避免发生意外;
    维护完毕,在没接上电源之前,重新检查一下泵的旋转方向;
    ‘O’ rings 和垫圈如果损坏不可重复利用;
    在运转过程中,泵和油会受到化学品的污染。所以,应确认泵是否清洗干净,并采取足够的措施防止这些有害物质对人员的伤害;
    维护完毕后,应检查是否有泄露的地方,如有,应重新密封;
    不要接触或吸入泵受高温(260℃)产生的热降解的产物,它们是很危险的,包括油、油脂和真空脂。

2.维护计划
    为使泵能正常工作,需参照下表做其维护
    维护项目     频率
    检查油位    需要时,每月
    更换泵油    工作3000 h
    检查并清洗入口滤器    每次换油时
    清洁前置真空泵载气滤网    每次换油时
    清洗马达风扇周围    每年
    清洗泵四周    每工作15000 h
    安装新刀片    每工作15000 h
    检查马达的状态    每工作15000 h
    检查前置真空泵油位

    根据需要,可以在泵运转的时候检查油位,但如果要往里加油时则需断开前置真空泵及相关部件与电源的连接。
    1.透过前置真空泵的可视窗口检查油位是否在最低限以上,最高限以     2.如果油位在最低限或低于最低限,打开加油孔,加油至最高限,如加得过满可从出口放掉点。
    3.如果油污染严重时,放掉受污染的油,清洗泵后加入干净的油。

更换前置真空泵油
    1.开启泵运转10分钟以加热泵油,然后关泵(油加热后可降低其粘性,比较容易倒出来)。
    2断开泵和电路及真空系统的连接。     3.取下加油孔的塞子     4.将泵放在一个适当的支撑物(如:凳子)上以方便泵的倾斜,在排油口下放合适的容器。取下排油口的塞子,让油在重力的作用下流到容器中。
    5.油受到污染时:
5.1取下加油孔的塞子,倒进干净的油。
5.2重新连上泵和电路的连接,开泵运转5-10分钟。
5.3断开泵和电路的连接,取下排油口的塞子,让油流出来。
5.4重复上述步骤直到将泵清洗干净。
    6.塞上排油口的塞子,移掉支撑物,重新接上泵和电路及真空系统的连接 。
    7.装上新油,直到油位达到MAX位置附近。
    8.等几分钟直到油抽到泵中,需要的话,可再添油(需再关泵)。塞上加油孔的塞子。

检查和清洁前置真空泵入口过滤器 。     1.旋开入口转接器,取下‘O’ ring,弹性挡圈和入口过滤器。
    2.用适当的溶液清洗入口过滤器,阴干入口过滤器。     3.重新装上入口过滤器、弹性挡圈、‘O’ ring和入口转接器。

清洁前置真空泵载气滤网
    1.取下固定垫圈
    2.取下金属丝网及滤头元件
    3.用合适的溶剂清洗金属丝网及滤头元件,阴干后重新装在泵上
4.重新固定好固定垫圈

清洗马达风扇周围
    1.关掉泵,断开其与电源的连接
    2.利用干的布或毛刷清除电动机的风扇罩和围栏的污染物

注意:
    如果电动机的风扇罩及周围不保持干净的话,进入马达的气流将受到限制从而导致泵过热。