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标题: 请教物镜下面的加速电极（ＡＶ）有什么用． [打印本页]

作者: 钢笔 时间: 2009-11-13 10:30 标题: 请教物镜下面的加速电极（ＡＶ）有什么用．

最近我们的电镜的聚焦效果不太好，　经确认是操作人员操作不慎，将样品碰到了物镜，供应商的售后服务人员说是我们将物镜最底下的东东碰坏了，改变了磁场分布，因而不能很好聚焦，需要更换加速电极AV,请问谁知道加速电极是什么东西？

作者: xuzj1979 时间: 2009-11-13 10:30

充其量样品能碰到的不也就是极靴么，再说都有触停装置怎么会有着严重的后果呢？请大侠出来给解释一下，很想知道，加速AV是什么鬼东西。

作者: 红娘 时间: 2009-11-13 10:31

不同厂家的设计不太一样，说一下仪器厂家和型号
不过还真没怎么听说过物镜有加速作用

作者: xuzj1979 时间: 2009-11-13 10:31

从来没有听说过。

是有的厂家在物镜极靴下面有设计静电透镜，像ZEISS。碰到这个静电透镜会导致光路像散增大，但不会改变磁场分布，但从来没有听说过加速电极AV。

作者: 钢笔 时间: 2009-11-13 10:40

我上面说的是日本电子的JSM-6700F SEM.
我顺便瞄了一眼售后服务工程师的专用维护手册, 上面图纸上确实标出了加速电极,应该不会有假吧! 他没必要自己欺骗自己啊!
为了更换这个加速电极(AV), 还动了大工程, 请参看附图

作者: 钢笔 时间: 2009-11-13 10:41

作者: xuzj1979 时间: 2009-11-13 10:41

噢噢噢噢噢噢噢噢噢噢噢，原来如彼。

个人感觉应该是场发射镜筒里用静电场对电子束进行减速的装置（传说中的着陆电压）。
另外“加速”是不是针对“发射电子束减速装置”对样品产生的二次、背散射电子在镜筒内加速？日本的咚咚有点换汤不换药的意思。

功能上与Zeiss电磁+静电透镜是差不多的吧？（Zeiss的静电透镜在磁透镜的下面，这样的设计保留了高发射电压电子束在镜筒内的优点，又保证了激发样品的电子束低电压）

作者: 红娘 时间: 2009-11-13 10:41

关于ZEISS的双透镜设计，同意您的观点。
日本人生财有道，很有声势嘛。

作者: 红娘 时间: 2009-11-13 10:42

看看这个就知道了

作者: 钢笔 时间: 2009-11-13 10:43

好图，我收了它。
您要解释的应该是这套东东是为Uper detector服务的，是这样么？
对初射电子束有作用么？有降低入射电子束电压的作用么？
您一定要讲讲下面的物镜是干什么的？我看不大懂，多谢了

作者: 红娘 时间: 2009-11-13 10:50

这个东西有为Uper detector服务的功能,但不全是,它还有能量选择过滤的作用,以及减少放电.这主要是74的功能,67没有这么多.上面那个减速电极有降低初射电子束能量的作用,样品台也作为一个电极在GB模式减少放电,但是Deceleration electrode和Acceleration electrode作用在不同的模式作用也不太一样,几句话也说不清,还是看图把.红色表示SE蓝色表示BE.

作者: 钢笔 时间: 2009-11-13 10:57

太感谢了，你的图形很能说明问题.你所列的示意图中加速电极应该就是我附图所示带黑色焊点部分的内圈那个就是.

作者: 红娘 时间: 2009-11-13 10:57

别客气,学习,交流,进步,提高,永远是我们共同的目的.

作者: xuzj1979 时间: 2009-11-13 10:58

也学到了，多谢。
也看到了这个加速电极的作用了，加速的方向是自下向上的，所以一个东西多种说法。不过换起来真是够麻烦的。

作者: 红娘 时间: 2009-11-13 10:58 标题: 回复 #11 红娘的帖子

这两个图不收也罢，自己看明白已经很不容易，想给别人讲更是困难。

作者: 钢笔 时间: 2009-11-13 10:58 标题: 回复 #15 红娘的帖子

您不仅上传的图自己也解释不了，就连气量也这么小。

作者: 物联网 时间: 2009-11-13 11:00

电极上的红色、深蓝、浅蓝、灰色代表啥意思？是正、负和无电吗吗？怎么对应的？
没看明白为何电子要这样走，最好详细解释一下。

我还是看不懂以上的图，希望解释一下。

作者: 红娘 时间: 2009-11-13 11:01 标题: 回复 #17 物联网的帖子

在解释之前,首先说一下,这是JEOL为信号选择过滤所设计的,各个公司基本都有,只是名称不一样,这里叫r-filter,r就是一些信号在不同电极下的运动的轨迹.还有要明确的是电子的运动方向一般是往正电极的方向.我只解释一幅图,其他的依次类推.红色的表示加的正电,深红的比粉红的电压高.蓝色的电极加负电,浅蓝的负电高些.褐色的不加电压.
在SE模式中,探头只接受二次电子,SE和BE从样品产生,AV极加+45V,电子被加速吸入到上面,L1L2L3L4极再加+5V的电压,电子继续往上,而U3,U4加上-30V,U1,U2为0V,电场变为斜向方向,这时SE因为能量低,容易改变方向,不能到达上面,就被探头吸收.而二次电子因为能量高,继续往上,到达RV,不能被探头接收.这时得到的图象信号就是二次电子.这时只能用SEI探头 (IN-LENS).

作者: xuzj1979 时间: 2009-11-13 11:02

学习了！！！

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