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标题: 环扫? 低真空? [打印本页]

作者: 物联网 时间: 2009-12-8 14:23 标题: 环扫? 低真空?

环扫和低真空都号称能不喷镀就直接观察不导电的样品,哪个更好? 对维护有无特殊要求? 环扫和低真空现在买的都很多了, 但不知用下来实际效果如何.

作者: xuzj1979 时间: 2009-12-8 14:24

两个是一样的，只是电镜品牌不同，叫法不一样。
环扫是FEI的专利，低真空是LEO的特色吧？其他厂家也有，不知道是不是都叫LV？

作者: tudou 时间: 2009-12-8 14:25 标题: 回复 #2 xuzj1979 的帖子

这位专家说得对。环扫是FEI的一种功能，它除了在低真空下，还要加水蒸汽。低真空LV方式是不加水蒸气的，具有LV功能的SEM现在各个著名厂家都有。效果不是很理想。

作者: xuzj1979 时间: 2009-12-8 14:25

专家谈不上，我只是转述罢了。加水蒸气不就是为了让导电性增加么？低真空不能有痕量水蒸气吗？LV不理想何在呢？

作者: tudou 时间: 2009-12-8 14:25

没错，但其实精确点讲叫可变压力。
不同型号电镜可以下到不同深度的压力，压力越深对探测器的要求就越高。

作者: xuzj1979 时间: 2009-12-8 14:25

没错，但其实精确点讲叫可变压力。
不同型号电镜可以下到不同深度的压力，压力越深对探测器的要求就越高。

作者: 物联网 时间: 2009-12-8 14:26

呵呵，是啊，如果真能在线完全环境复制扫描就太牛了。
谢谢你的讲解，这下懂了

作者: xuzj1979 时间: 2009-12-8 14:26

您太客气了，嗬嗬，我也是道听途说啊！

作者: 物联网 时间: 2009-12-8 14:26

留心处处皆学问啊

作者: tudou 时间: 2009-12-8 14:26

环扫除了加水以外，还可以加氧、氮氢等气体。加水蒸气不是为了让导电性增加。

作者: 物联网 时间: 2009-12-8 14:26

那加水蒸气为了什么呢？或者加氧，氮，氢又可应用于什么样品呢？是不是就是在用环扫功能时，进气口连上各种气体呀。请用过环扫的高手赐教一二

作者: xuzj1979 时间: 2009-12-8 14:27

有些样品需要在各种气氛下观测，这时环扫/可变压力就很有利了。

作者: tudou 时间: 2009-12-8 14:27

需要保护气体的不导电样品,FEI环境扫描电镜有优势,低真空是无能为力了!

作者: xuzj1979 时间: 2009-12-8 14:27

扫下样品室的压力是动态平衡的，就是说气体一边不断地近来，一边不断地被抽走，稳定在设定的压力下。用水蒸气主要是方便（当然还有别的原因）；加氧可以看样品的氧化（一般同时用热台）；加氮则相反，可以在用热台时防止样品的氧化。进气口可以连上各种气体，当然一次只能用一种。

作者: xuzj1979 时间: 2009-12-8 14:27

“环境扫描”顾名思义就是使样品尽可能地处在接近环境压力的状态下，这样有许多实用上的好处：
1.高真空下易分解或挥发的样品在环扫下情况往往有很大的改善；
2.含水样品不易变形。我看过新鲜的树叶和蜻蜓的复眼，高真空下电子束还没有打上去，它们就已经脱水变形了；
3.用冷台，热台或拉伸台等附件时，高真空模式是困难或不可能的，一般我们就要用环扫模式；
4.导电性极差的样品也不易放电．

作者: tudou 时间: 2009-12-8 14:28

ＦＥＩ的环扫电镜维护没有什么特殊要求，大不了清洗一下末级光阑（３０秒拆下来，１５分钟超声波，再３０秒钟装上去）。

作者: tudou 时间: 2009-12-8 14:28

我做过环扫，它对样品要求低，不像常规电镜那样需要干燥、喷金，对样品有一定程度的破坏，它对水分大的、有油污及污染的、绝缘的样品都可以做，但不是什么都可以看到，与电子发生作用的才可以看到，像我做的东西只能看到细胞。

作者: 物联网 时间: 2009-12-8 14:28

太好了终于明白环扫和LV其实是一样的
或者说，LV低真空扫描电镜包括环境扫描电镜

作者: tudou 时间: 2009-12-8 14:29

嘿嘿，正好反了，环扫电镜包括LV电镜才对。

作者: 物联网 时间: 2009-12-8 14:29

那在LV扫描电镜下样品是不是不用处理就可以直接上机看呢？对机子没有污染么？

作者: xuzj1979 时间: 2009-12-8 14:29

用水蒸汽除了方便之外还有一个原因，就是在这个条件下得出的图像效果较好。

作者: jmijmlgddh 时间: 2010-6-12 12:19

学习了

还有好多不懂的。正在学习操作，可是很难调出高质量的SEM像。

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