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标题: 三氯氢硅中碳含量的测定分析方法 [打印本页]

作者: 敬候佳音 时间: 2013-5-15 22:01 标题: 三氯氢硅中碳含量的测定分析方法

我司三氯氢硅产品中碳含量高，请教各位老师，硅粉及三氯氢硅中碳含量的分析方法。

作者: 倾轻地 时间: 2013-5-15 22:02

用碳硫分析仪，方便快捷，数据也比较准确

作者: 雨儿 时间: 2013-5-15 22:10

三氯氢硅能用碳硫测试仪吗？暂时我还没有听说三氯氢硅现在能测碳含量，我知道的只能在成品硅中测试碳含量。

作者: 落叶无声 时间: 2013-5-15 22:13

三氯氢硅中碳含量是可以测的！而且这是目前我*内多晶硅行业中最主要的问题之一：碳含量过高！

作者: 我是夜猫子 时间: 2013-5-15 22:17

硅粉生产工业上，通常是在电炉中由碳还原二氧化硅而制得。
化学反应方程式：SiO2 + 2C → Si + 2CO
这样制得的硅纯度为97~98%，叫做金属硅。再将它融化后重结晶，用酸除去杂质，得到纯度为99.7~99.8%的金属硅。如要将它做成半导体用硅，还要将其转化成易于提纯的液体或气体形式，再经蒸馏、分解过程得到多晶硅。如需得到高纯度的硅，则需要进行进一步的提纯处理
硅粉的碳含量大约是0.2-0.05%,可以用红外检测含量

作者: 倾尽温柔 时间: 2013-5-15 22:22

三氯氢硅中碳含量检测比较困难，样品通过处理压片红外测定，也可以用MS测定

作者: 舞疯 时间: 2013-5-15 22:27

多晶硅公司的高手来帮助回下贴哦~由于三氯氢硅很不稳定。再说你的三氯氢硅中的碳含量不会高的吧！由于在原料上已经控制了碳含量，硅粉中的碳含量可以用红外硫碳仪器测定。合成三氯氢硅中碳含量高的原因是你的低沸物没精馏除去，色谱分析中你知道是那种物质偏高不？

作者: 翔少爷 时间: 2013-5-15 22:32

三氯氢硅中碳含量的测定可用GC-MS检测
个人观点仅供参考

作者: 小米粒 时间: 2013-5-15 22:36

对于一氧化碳和二氧化碳，采用色谱法检测是可以的，但若含量较低，需要对检测器进行合理的选择；如果是有机碳，如卤代烃等，视含量高低，可以选择色谱、付立叶变换近红外、质谱等手段。不论采用什么分析方法，对这种样品的取样、样品转移及存放、分析时进样的方法等，都需要进行较全面的考虑与考察，因为三氯氢硅的化学性质的特殊性会给上述操作带来许多不便。

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