分析测试百科

标题: TEM和STEM图像的差别？ [打印本页]

作者: 666 时间: 2010-6-8 13:44 标题: TEM和STEM图像的差别？

TEM和STEM图像在相同的倍率下有什么差别？如何实现在F20 TEM模式下进行EDS分析？

作者: 阿九 时间: 2010-6-8 13:44

没做过，应该是后者具有立体感才对。
F20做EDS为什么非要在TEM模式下？JEOL的一般在EDS模式下。
TEM模式下的光太强了，容易损伤EDS探头，而且电子束没EDS的模式细，分析微区不准确吧

作者: 红娘 时间: 2010-6-8 13:45

F20做EDS分析时不是要将测角台旋转20度吗？不同的电镜不一样。

作者: 阿九 时间: 2010-6-8 13:45

说到这里，你们的UHR需要倾转样品台做EDS吗？

作者: 666 时间: 2010-6-8 13:46

我们的是在（0，0）做EDS。上一次看到一台Tecnai，配的是EDAX的能谱，做EDS时要转动20度。

作者: 红娘 时间: 2010-6-8 13:46

你还别绝对，我碰到一个UHR的就是要倾转18度，理由是这个角度做EDS信号最强。不过我发现即使不转也没多大问题，呵呵。

作者: 666 时间: 2010-6-8 13:47

是啊，上次有人问我要不要转角，我还挺纳闷

用的镜子太少了，有时间了要多了解其他的电镜。

作者: 奥运 时间: 2010-6-8 13:48

STEM的图像更清楚些，有点像SEM中的背散射图像(backscatter)。几星期前，我的一个样品进行了比较， TEM 图像可以看到个别的颗粒，但STEM 可以看到更多。

作者: 666 时间: 2010-6-8 13:48

能上张图来说明一下吗？多谢！

作者: 奥运 时间: 2010-6-8 13:48

对于JEOL电镜，应在EDS的模式下做EDS分析，而且最好倾转20度，特别所测的样品含量低。因为在那种条件下，探头的能更好的采集信号。

作者: 666 时间: 2010-6-8 14:08

哦？为什么这么说呢？跟极靴的形状有关系吗？

作者: 奥运 时间: 2010-6-8 14:09

F20作能谱时要求倾转20°，说在TEM模式下可以实现EDS分析，它有微米束模式＆纳米模式，但我不知道如何操作

作者: 666 时间: 2010-6-8 14:09

？奇怪，F20没有EDS模式？那就把束斑调小做EDS吧，对于大颗粒倒是问题不大。

作者: tudou 时间: 2010-6-8 14:09

这个问题太简单了，在什么模式下都可以做能谱，问题只是空间分辨率和计数率的要求。JEOL单独设一个EDS模式，FEI对应的是纳米模式，只不过叫法不同而已。另外，样品倾转(F20大约15度）也不是必需，但你会看到计数率明显的改进，特别当光束很小的时候。半导体多层结构不允许样品倾转，也照用无妨。

无论TEM还是STEM都可做EDX。在F20上，STEM是纳米模式，故效果上与TEM纳米模式没有什么原则不同，只是更方便你控制光束在样品上的位置。

作者: 666 时间: 2010-6-8 14:09

多谢！有学到了新知识

作者: 奥运 时间: 2010-6-8 14:10

我觉得转不转角看情况，有时不转角也可以做EDS，但是有时基数太低就不能做，转角后会有明显增强。

欢迎光临分析测试百科 (http://bbs.antpedia.com/)