飞行时间二次离子质谱仪(TOF-SIMS: Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometry)利用一次脉冲离子轰击样品,通过表面激发出的二次离子的飞行时间测量其质量(m/z < 100,000),以分析样品的表面组成。TRIFT V nanoTOF继承了离子通过率高的三次聚焦静电分析器,全面改良了的光学系统,可提高空间分辨率和分析灵敏度。由于拥有深的景深,即使形状复杂的样品亦能准确测量。通过全新的样品传送机械装置及自动5轴式样品台,即使大直径或高度不同的大多数样品,亦能在不影响运作下进行分析。