tof-sims (time-of-flight Secondary ion mass spectrometer)是飞行时间-二次离子质谱仪,它可以进行全元素分析,包括H,同时还可以分析元素的全部同位素。对有机物,无机物都能进行分析,而且对样品导电性能无任何要求,仪器的灵敏度高,可以检测出ppb~ppt量级的杂质。其基本的原理,采用脉冲粒子束轰击样品表面使其产生二次离子(正离子,负离子),产生的二次离子经过一个漂移管到达检测器。根据不同离子的荷质比不同,所以在漂移管中的飞行时间也不相同,质量数小的离子先到达检测器,质量大的后到达检测器,这样就实现了质谱的分离。