分析测试百科

标题: 薄膜XRD测量问题，BRUKER D8 FOCUS 能否做掠入射小角衍射？ [打印本页]

作者: bin 时间: 2011-5-25 14:49 标题: 薄膜XRD测量问题，BRUKER D8 FOCUS 能否做掠入射小角衍射？

想请教各位一个问题。我想测一个薄膜的结构，薄膜厚度（~30nm），
在XRD(D8 FOCUS)上测了，只有衬底的峰。
经过查阅，对于薄膜XRD测量应该用小角衍射（原理还没弄清楚），
我想问下BRUKER D8 FOCUS XRD能否做掠入射小角衍射？

作者: nini 时间: 2011-5-25 14:53

测薄膜一般要配Göbel镜，否则强度可能太弱。

作者: nodoor 时间: 2011-5-25 14:57

Bruker D8 FOCUS能做小角衍射，但不明白“对于薄膜XRD测量应该用小角衍射”出自何处？你想测什么呢？“薄膜的结构”指的是物相还是多层膜的次序或表面及界面粗糙度？做薄膜研究既可以通过反射也可以通过掠射。反射主要适合300-400 nm厚以下多层膜及薄膜，可测膜的厚度、膜及衬底的密度、表面及界面粗糙度、膜的次序，对样品定位及入射光束的准直要求较高；掠射可测多层膜及薄膜的物相分析、晶粒大小测定、薄膜次序及择优取向测定。

作者: 真善美 时间: 2011-5-25 15:01

我想测的是薄膜的物相和择优取向。小角衍射和掠入射衍射有区别吗？
是不是Bruker D8 FOCUS能做小角衍射，但不一定能掠射测薄膜物相？薄膜厚度大概在30nm左右。

作者: boss 时间: 2011-5-25 15:04

小角衍射和掠射衍射没什么区别，着重点都是X-光入射角度很低。

作者: No.1 时间: 2011-5-25 15:14

很强大，学习了

欢迎光临分析测试百科 (http://bbs.antpedia.com/)