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标题: AR-XPS中氧的平均自由程 [打印本页]

作者: rcbltd 时间: 2011-8-8 15:48 标题: AR-XPS中氧的平均自由程

请教高手！
在做AR-XPS测试的时候，需要知道氧在SiO2中的非弹性散射平均自由程，有人知道是多少吗？

background：我是想用AR-XPS来测试Si表面的native oxide厚度。需要用到一个公式，公式中有个未知量是“平均自由程”

作者: maomi520 时间: 2011-8-9 17:40

你用的是哪一个公式？请指明。

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