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标题: 【求助】我想确认一下膜的厚度及膜在孔内的覆盖情况 [打印本页]

作者: 冰激凌 时间: 2015-8-16 11:08 标题: 【求助】我想确认一下膜的厚度及膜在孔内的覆盖情况

在AAO模板孔内镀了两层膜，AAO是带有铝基的单通模板，孔径为50个nm，孔深1μm，所镀膜层厚度约为10nm（只是理论估计），我想确认一下膜的厚度及膜在孔内的覆盖情况，如何在不损伤膜的质量的情况下获得比较好的断面？求高人解答。

作者: qinqinai 时间: 2015-8-16 11:09 标题: 【回复】

掰断或碾碎，在电镜下找断面看

作者: p1900 时间: 2015-8-16 11:09 标题: 【回复】

这个恐怕做不到，模板的铝基和氧化层差不多厚，铝的延展性很好，怎么掰断或碾碎

作者: qinqinai 时间: 2015-8-16 11:10 标题: 【回复】

是可以的，现在液氮里冻一下再掰断

作者: 灵魂 时间: 2015-8-16 11:10 标题: 【回复】

直接扳断然后贴在竖着的样品台上，如果要科学一点，就在液氮里面脆断，但是我觉得没那必要

作者: 冰激凌 时间: 2015-8-16 11:11 标题: 【回复】

带基板的确实有点麻烦，液氮脆一下掰断试试吧，要还不行可能要用激光啥的切开了

作者: p1900 时间: 2015-8-16 11:11 标题: 【回复】

这个恐怕做不到，模板的铝基和氧化层差不多厚，铝的延展性很好，怎么掰断或碾碎

作者: huali 时间: 2015-8-16 11:12 标题: 【回复】

是可以的，现在液氮里冻一下再掰断

作者: dadaai 时间: 2015-8-16 11:13 标题: 【回复】

直接扳断然后贴在竖着的样品台上，如果要科学一点，就在液氮里面脆断，但是我觉得没那必要

作者: p1900 时间: 2015-8-16 11:13 标题: 【回复】

带基板的确实有点麻烦，液氮脆一下掰断试试吧，要还不行可能要用激光啥的切开了

作者: yuanyuan 时间: 2015-8-16 11:14 标题: 【回复】

可以采用激光切割，比较科学和可靠，一般做TEM的实验室都有这个，SEM实验室很少有这个。

作者: p1900 时间: 2015-8-16 11:14 标题: 【回复】

方法一：将膜（基面）用502胶或者其他万能胶粘在玻璃片上（或者其他硬质易掰断的材料如PMMA板、硅片），在玻璃背面用玻璃刀划一道，再掰断，AAO也就一起断裂了。
方法二：将膜浸入液氮，等几乎无气泡逸出后，用镊子的直边掰断。
方法三：将方法一中粘有AAO膜的基板，按方法二在液氮中掰断。
。。。
另外，最平整、无应力的制备方法应该是离子束抛光。不过你这个应该用不着。

作者: p1900 时间: 2015-8-16 11:15 标题: 【回复】

用聚焦离子束FIB制样，可以保证制备到含孔的TEM样品，非常方便。

作者: mimima 时间: 2015-8-16 11:15 标题: 【回复】

哈你那儿常用FIB做TEM的样品吗？有机的能做不？我正找呢。有的话交流下哈。
楼主是问SEM制样嘛，用于SEM的有专用的离子束抛光机，比FIB还是经济实惠多了。

作者: 大大 时间: 2015-8-16 11:16 标题: 【回复】

单纯为了看氧化铝的断面直接去掉背铝就是，饱和氯化铜或者氯化锡，然后掰碎

作者: 妮子@ 时间: 2015-8-16 11:17 标题: 【回复】

我并不是做PPA的，我是在PPA的基础上做一些其他工艺，不过我这里有一个PPA的群，不知道你有没有兴趣

作者: 886爱 时间: 2015-8-16 11:17 标题: 【回复】

模板有200微采用方法一也能做到吗？

作者: yuanyuan 时间: 2015-8-16 11:18 标题: 【回复】

聚焦离子束自然是好，可惜自己这里没设备

作者: p1900 时间: 2015-8-16 11:18 标题: 【回复】

嗯，楼上的放上我都用过，也做过很多其他的尝试，后来发现，其实最简单和有效的方式是：在做SEM的时候，找个截面的放样台，将样片用剪刀剪成长条型的，然后一端贴在放样台的表面，随后用镊子将样片另一端掰弯贴到放样台的侧壁上（足见，你的样片大小要能覆盖住放样台的一部分表面和截面）。然后测试的时候，低倍下找裂缝，可以根据你氧化层的厚度，确定你需要找的裂缝大小，之后再高倍拍摄截面形貌就行了。

作者: 大大 时间: 2015-8-16 11:19 标题: 【回复】

其实这样的方法我也试过，我是直接将样品弯折了180°，然后将其粘贴在样品台上观察的。你的意思我基本理解了，我想知道的是弯折的角度大概多大，样品的厚度是否有影响？你在这方面经验丰富

作者: yazi 时间: 2015-8-16 11:19 标题: 【回复】

这个方法有点问题，就是剪刀剪样品的时候有可能，注意是有可能，导致结构变形。

作者: 小妖精@ 时间: 2015-8-16 11:20 标题: 【回复】

我这FIB和TEM都有，不过做电子材料的。以前没有接触过有机的。不过别的FIB能做到的我都应该能做到。要学习下，哈哈哈哈。

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