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标题: 【求助】检测薄膜中的微量元素除了用XPS [打印本页]

作者: dadaai 时间: 2015-9-10 11:36 标题: 【求助】检测薄膜中的微量元素除了用XPS

检测薄膜中的微量元素除了用XPS，还能用什么检测手段？
如题~~

作者: yayayu 时间: 2015-9-10 11:37 标题: 回复

扫描电镜或者透射电镜的能谱。

作者: 小妖精@ 时间: 2015-9-10 11:37 标题: 回复

轻元素，微量，EDS能测出来吗？
由于是薄膜，如果做TEM的话基底的影响可能会比较大吧？而且基底也有同种元素，仍然可以用TEM的能谱测吗？
谢谢~

作者: aaby 时间: 2015-9-10 11:38 标题: 回复

卢瑟福背散射，中子衍射。。。。很多啊

作者: danzi 时间: 2015-9-10 11:39 标题: 回复

EDS如果量很少的话是测不出来的，并且轻元素也是测得相当不准的。

作者: 886爱 时间: 2015-9-10 11:40 标题: 回复

如果就单单扫描不同杂化的碳，还有什么检测手段啊，新手上路，

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