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标题: 【求助】电镜高手讲讲SEM的能谱分析的精度 [打印本页]

作者: xgy412 时间: 2015-9-12 13:26 标题: 【求助】电镜高手讲讲SEM的能谱分析的精度

小弟研究金属材料。现请教有关SEM的能普分析的问题
1：用EDS检测合金相中的微量元素准确吗，前提是，这个相很大，而其要检测的元素是稀土元素。比如检测出Y的重量百分比只有0.5%。这个数据可靠吗？
2：当做EDS时，把本来肯定没有的元素加进去了（打能普时记错了样品编号，哈哈），居然检测重量百分比有0.5%左右。出现这种情况的原因是什么？

作者: 跳跳哈里 时间: 2015-9-12 13:27 标题: 回复

准不准确，关键看你用的是什么样式的SEM,这个更新的也很快
再有你是打得点还是扫的面，你样品的成分均不均匀
有没有考虑某些特征谱线重叠

作者: zouyou 时间: 2015-9-12 13:27 标题: 回复

第二个问题很专业了
我根本不懂。继续请教啊。在Al。Zn，Mg,La这四个元素中。La和其他元素有重叠吗
sem参数选择不正确又是什么意思
谢谢

作者: wawa11 时间: 2015-9-12 13:28 标题: 回复

俺不是高手，
不过我认为
相对于0.5%来说，SEM能谱的误差还是有点大了。
除非你只是要个相对的数量级

作者: 美人鱼 时间: 2015-9-12 13:28 标题: 回复

在Al。Zn，Mg,La这四个元素中。La和其他元素有重叠吗

作者: 大大 时间: 2015-9-12 13:29 标题: 回复

一般而言,EDS是测不准的,尤其是11号元素之前的元素.另外,含量如果在5%以下也测不准,我天天做EDS和SEM.

作者: efp 时间: 2015-9-12 13:29 标题: 回复

含量在5%以下就测不准啊，您说的是原子百分比还是质量百分比啊？

作者: 钻石 时间: 2015-9-12 13:30 标题: 回复

1. 如果你有这个样品的标样，或者很接近，用来做定量校正之后，应该可以很准确，最好可以到千分之几。但对于微量元素，相对误差大些，可能要1％以上。而如果你没有这个样品的对应标样，而只是用了电脑里的数据库定标，那么误差就要大不少。而0.5%这个含量很可能就是背景或者噪音造成的，不可信。
2. 因为EDS收集谱峰是通过接受不同能量的X射线，脉冲计数的，而接受过程中有各种影响因素使这些谱峰有一个背景信号，如果这些信号没有达到一定的计数量，处理器不会认为这是一个信号峰，而只是认定为背景。但这些背景是连续存在的，所以如果你强制指定一个能量位置为信号峰，那么处理器就会把这个地方计算进去，扣除一定的背景信号后，给出一个定量结果，但这个结果通常在千分之几，甚至是负数，这是很不可信的。

作者: 兔子 时间: 2015-9-12 13:31 标题: 回复

能谱是半定量的测试手段一般以定性为主
误差很难避免一般来讲11号至40号元素相对准确些但是也要根据能谱厂家的性能以及测试状态

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