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标题: 【讨论帖】分子泵与扩散泵的关系在抽真空系统中,扩散泵... [打印本页]

作者: feixi 时间: 2015-9-21 16:26 标题: 【讨论帖】分子泵与扩散泵的关系在抽真空系统中,扩散泵...

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泵扩散泵

分子泵与扩散泵的关系在抽真空系统中,扩散泵是作为分子泵的前级抽真空吗?扩散泵的极限压强是多少?分子泵的极限压强是多少?分子泵在多少压强下开始工作?

作者: 分子式 时间: 2015-9-21 16:27

分子泵与扩散泵都是后级泵，只有机械泵是前级泵。分子泵的效率比扩散泵高。

作者: feixi 时间: 2015-9-21 16:27

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分子泵与扩散泵都是后级泵，只有机械泵是前级泵。分子泵的效率比扩散泵高。

具体这两种泵有何区别？后级泵具体意思？

作者: xueyouzhang 时间: 2015-9-21 16:27

现在很少用扩散泵了

作者: feixi 时间: 2015-9-21 16:28

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现在很少用扩散泵了

为什么啊？不过GCMS一般都是机械泵与分子泵

作者: taoshengyijiu 时间: 2015-9-21 16:28

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分子泵与扩散泵是同样的作用，只是抽气原理不同？

作者: taoshengyijiu 时间: 2015-9-21 16:28

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为什么啊？不过GCMS一般都是机械泵与分子泵

扩散泵有返油风险

作者: 555444 时间: 2015-9-21 16:29

上图~~~~~~~~~~~~~

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http://bbs.antpedia.com/attachment.php?aid=37454

作者: 555444 时间: 2015-9-21 16:29

前级泵-机械泵（旋转泵，极限真空10-2 - 10-4torr)
高真空-油扩散泵、分子涡轮泵（极限真空10-5 - 10-10torr)

作者: 红袖添香 时间: 2015-9-21 16:30

分子泵开始工作时，前级真空约为数百到千把毫乇，T家。
分子泵的极限压力是：超短时间直通大气（就是泵叶片变形严重，但还没有断裂或碰撞到相邻定片的极限）。
长时间通大气肯定毁了，过限了。

作者: 33号 时间: 2015-9-21 16:30

为什么啊？不过GCMS一般都是机械泵与分子泵

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扩散泵容易返油。。。

作者: 研究僧112 时间: 2015-9-21 16:30

看到安杰伦的仪器现在扩散泵还是可选件，无语了。

作者: feixi 时间: 2015-9-21 16:31

扩散泵有返油风险

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是的，這個是有風險的，如果到真空腔的話危害就大了

作者: feixi 时间: 2015-9-21 16:31

感謝老師提供的資料，學習了，所謂兩級真空機就是機械泵和分子泵吧！

作者: feixi 时间: 2015-9-21 16:32

前级泵-机械泵（旋转泵，极限真空10-2 - 10-4torr)
高真空-油扩散泵、分子涡轮泵（极限真空10-5 - 10-10torr)

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分子泵容易壞嗎？

作者: feixi 时间: 2015-9-21 16:32

分子泵开始工作时，前级真空约为数百到千把毫乇，T家。
分子泵的极限压力是：超短时间直通大气（就是泵叶片变形严重，但还没有断裂或碰撞到相邻定片的极限）。
长时间通大气肯定毁了，过限了。

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那什麼時候通大氣，比如非常漏氣的時候？

作者: feixi 时间: 2015-9-21 16:33

看到安杰伦的仪器现在扩散泵还是可选件，无语了。

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估計主要考慮不同消費群體

作者: 555444 时间: 2015-9-21 16:33

是的，一般指机械泵和分子泵（包括扩散泵）两级。

作者: 555444 时间: 2015-9-21 16:34

看到安杰伦的仪器现在扩散泵还是可选件，无语了。

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现在用扩散泵的仪器确实很少了。

作者: 555444 时间: 2015-9-21 16:34

分子泵容易壞嗎？

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难讲，有的泵用7年8年10年都无问题，有的泵几年就坏了。

作者: wanglaoshi 时间: 2015-9-21 16:35

分子泵，扩散泵都是高真空获取设备，一些工艺目前还是在使用扩散泵的，扩散泵维护保养容易，分子泵可以提供洁净的高真空环境，都是，分子泵的轴承寿命有限，需要定期更换，维护保养成本较高，这二种泵都是可以在10帕左右就可以工作了，分子泵的极限真空或者他的可以达到的极限真空是1E10-7TORR请大家注意不要被不是专业的人给忽悠了，要达到1E10-10torr需要配合离子泵才可以达到

作者: feixi 时间: 2015-9-21 16:35

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原帖由 wanglaoshi 于 2015-9-21 16:35 发表 bbcodeurl('http://bbs.antpedia.com/images/common/back.gif', '%s')
分子泵，扩散泵都是高真空获取设备，一些工艺目前还是在使用扩散泵的，扩散泵维护保养容易，分子泵可以提供洁净的高真空环境，都是，分子泵的轴承寿命有限，需要定期更换，维护保养成本较高，这二种泵都是可以在10帕左右就可以工作了，分 ...

一般这个我们都是从仪器需要上才会关注的

作者: 喵咪 时间: 2015-9-21 16:35

现在很少有厂家主动配扩散泵，扩散泵便宜很多的。分子涡轮泵在MS中占了相当的成本，泵大泵小差很多。

作者: feixi 时间: 2015-9-21 16:36

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原帖由喵咪于 2015-9-21 16:35 发表 bbcodeurl('http://bbs.antpedia.com/images/common/back.gif', '%s')
现在很少有厂家主动配扩散泵，扩散泵便宜很多的。分子涡轮泵在MS中占了相当的成本，泵大泵小差很多。

现在在购买仪器的时候厂家都会告知详细信息等

作者: 555444 时间: 2015-9-21 16:36

安捷伦也可以配扩散泵，价格便宜一些。不过一般还是配分子泵。

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