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标题: 【转载】【求助】Lens打不开了 [打印本页]

作者: momom 时间: 2015-10-9 10:51 标题: 【转载】【求助】Lens打不开了

2100的机子，今天一个学生样品杆没插好，结果真空和高压就全掉下来了，后来重新抽上去升高压恢复过来，但是Lens发现开启不了了，就是没有那个“嘭”的一声，不知什么原因啊

作者: longquan 时间: 2015-10-9 10:52

可能是LENS保险烧了

作者: momom 时间: 2015-10-9 10:52 标题: 回复 #2 longquan 的帖子

查过那4个大保险，都没问题

作者: small2011 时间: 2015-10-9 10:56

SF6 气压检查了没

作者: momom 时间: 2015-10-9 10:56 标题: 回复 #4 small2011 的帖子

气压正常，再者lens跟它没关系吧，SF6是跟高压有关系的

作者: 夜蓝星 时间: 2015-10-9 10:56

把系统重置一下，就是那两个用牙签按下去的小按钮。跟LENS在同一个面板上。如果还不行，就把样品杆抽出来。重启机器。

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