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标题: 【转载】XRD测角仪； [打印本页]

作者: happydream 时间: 2015-11-6 19:42 标题: 【转载】XRD测角仪；

大家能详细介绍XRD卧式测角仪和立式测角仪的区别吗？谢谢，有点急。

作者: shuishui 时间: 2015-11-6 19:43

卧式基本不存在了，现在都立式的，卧式的制样太麻烦，容易掉落

作者: teddy 时间: 2015-11-6 19:43

您好，我看到的图片怎么是横卧式的样品台是水平的，站立式的样品台是垂直的？

作者: iop 时间: 2015-11-6 19:44

测大尺寸wafer还得靠卧式，不然重量引起wafer弯曲

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