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标题: 【转载】抽真空时机械泵老是自己停掉是怎么回事 [打印本页]

作者: nmn 时间: 2016-1-14 18:11 标题: 【转载】抽真空时机械泵老是自己停掉是怎么回事

热电XSERIES2的icpms，没怎么用，最近开机抽真空时机械泵总是自己停掉，报错显示turbopumperror，在线工程师说是漏气，让我清洗真空规，但是洗完装回去还是这样，一开始还能抽一两个小时，现在抽十分钟就停，而且报过一次错当天就不能再抽，要等第二天开机重来。仪器工程师来也是清洗真空规，连续开了五天又自己停掉了。请高手帮忙看看，谢谢！

作者: shuishui 时间: 2016-1-14 18:11

我这刚出完这毛病，是因为扩散阀里一个胶圈错位导致密封不严而漏气，你可以注意下转速到多少Hz就上不去了，我这现象是抽到411就怎么也上不去了，过会机械泵自己就停了

作者: teddy 时间: 2016-1-14 18:12

我转速可以到1000hz的，真空规已经被我重装很多次，问题依旧，其他地方没敢动过

作者: 艰苦奋斗 时间: 2016-1-14 18:12

我那天是关机以后，再抽，抽一会儿就停，试了好几次，结果怒重启！好了。。。

无语啊！

作者: jiankufanhan 时间: 2016-1-14 18:12

没问工程师啥啥原因~

作者: adg 时间: 2016-1-14 18:12

你说的是机械泵那块妈吗

作者: jiushi 时间: 2016-1-14 18:13

机械泵出现这个问题会不会是锥的问题呢

作者: vbnm 时间: 2016-1-14 18:13

更换真空规，这么厉害？没换过！

作者: happydream 时间: 2016-1-14 18:14

X2清洗真空规是基本操作，不会不行。

作者: 风往尘香 时间: 2016-1-14 18:14

当天工程师也在，工程师也只有呵呵，，，呵呵。。。

作者: ass 时间: 2016-1-14 18:14

刚开始抽真空和锥应该没关系吧？！

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