分析测试百科

标题: 【转载】【求助】TF20 gun shift 怎么调？ [打印本页]

作者: 但是 时间: 2016-2-10 09:07 标题: 【转载】【求助】TF20 gun shift 怎么调？

最近发现TF20的beam被调成了三角形，大概是gun shift与condenser stigmation没有调好的原因。
调gun shift发现最亮点不在beam中或者在beam边沿，用MF-XY也拉不到中心。
请教1：这时如何调gun shift；
2： stigmation怎样调才能算调好了？
多谢！

作者: 小牛牛 时间: 2016-2-10 09:23

1 亮点不在中间不是用gun shift调的是用gun tilt调的
2 spot size比较大的时候大放大倍数下 beam的确是三角形的调成对称的等角三角即可

作者: 但是 时间: 2016-2-10 09:24

gun shift是把亮点从边上拉到中央的。

作者: 小牛牛 时间: 2016-2-10 09:25 标题: 回复 #3 但是的帖子

是TF20？那你照我说的做就可以了
如果差的很远打电话联系FEI的工程师咨询一下如何做Gun部分的alignment

欢迎光临分析测试百科 (http://bbs.antpedia.com/)