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标题: 【求助】测试薄膜的XRD导致样品的峰被压得看不见了 [打印本页]

作者: 跳跳哈里 时间: 2016-2-23 22:43 标题: 【求助】测试薄膜的XRD导致样品的峰被压得看不见了

不知道大家的在测试薄膜的XRD会不会带出衬底的信息，目前我测试的时候总是衬底的峰太强，导致样品的峰被压得看不见了！！郁闷啊。。有没有谁有比较好的解决方法啊、、

作者: hcy517 时间: 2016-2-23 22:44 标题: 【回复】

看是什么基底了啊，一般用的硅片基底是特定晶面，没有峰。但是如果是氧化铝基底就会有。

作者: rrra6 时间: 2016-2-23 22:44 标题: 【回复】

我的是硅衬底哇，在111方向的。。刚好在我样品峰的附近。。直接给压没了

作者: 哈密瓜 时间: 2016-2-23 22:44 标题: 【回复】

硅片的衬底怎么会没峰呢？！！！！除非是非晶的衬底。

作者: 钻石 时间: 2016-2-23 22:45 标题: 【回复】

我觉得你可以利用软件对硅的峰处理一下，毕竟只是你薄膜的峰被压的很低。你在作图的时候把Y轴坐标范围选在你薄膜峰强的范围内就好了。

作者: wwwh 时间: 2016-2-23 22:45 标题: 【回复】

还有一种方法是如果你不需要基体的峰，你可以把薄膜挂下来，再打XRD!

作者: aaby 时间: 2016-2-23 22:45 标题: 【回复】

做的是薄膜啊。。就在200nm左右，，不能太厚呢:tuzi17::tuzi17:

作者: wawa11 时间: 2016-2-23 22:46 标题: 【回复】

对啊，，硅衬底一般都有峰的

作者: efp 时间: 2016-2-23 22:46 标题: 【回复】

我用jade处理了，，但由于衬底峰和薄膜特征峰相距很近，所以效果还不是很好哇

作者: PP熊 时间: 2016-2-23 22:46 标题: 【回复】

是不是你的薄膜太薄啊？我以前也遇到过这种情况，薄膜太薄，而且不致密，容易出现基板的峰

作者: 886爱 时间: 2016-2-23 22:47 标题: 【求助】

扫描的时候可以考虑使用掠入射扫描，应该可以减少基片的影响

作者: PP熊 时间: 2016-2-23 22:47 标题: 【回复】

那就不晓得了，我以前做的薄膜是20层的，五六百纳米的

作者: wawa11 时间: 2016-2-23 22:47 标题: 【回复】

你可以用XRD的小角衍射的方法，采用斜入射的方式，使得X射线在薄膜中穿过的比较长，穿透到达衬底的强度弱，从而使得衬底的衍射峰弱。

作者: qinqinai 时间: 2016-2-23 22:48 标题: 【回复】

你是用什么测的，测薄膜用了略入射没有，略入射的角度调整好薄膜的峰就会很强，相应会降低基底的衍射峰了！

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