标题:
【转载】【求助】离子减薄 详细原理
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作者:
ay123
时间:
2016-3-8 20:53
标题:
【转载】【求助】离子减薄 详细原理
最近做离子减薄,想知道其详细的原理,哪位大虾有相关方面的书籍推荐啊?
作者:
但是
时间:
2016-3-8 20:53
离子减薄原理很简单,首先要知道减薄要有个高压电子枪,它的作用就是要发射高能电子束,高能电子束轰击到待减薄区域时会将表层的物质打散成细小的颗粒。其次减薄时要通有Ar气,Ar气的化学性质稳定,一般不会与减薄样品发生反应,给减薄腔内接一个离子泵(总之是可以抽气的东西吧)把减薄出来的粒子与Ar气再抽出来。
作者:
momom
时间:
2016-3-8 20:54
嗯,谢谢了~我也知道这个,但是比如说加速电压对减薄的影响(太低、太高等),进一步怎样来确定加速电压等更为详尽的原理,我想彻底地了解一番,就是找不到这方面的书籍,但是我相信有~
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