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标题: 【求助】扫描电镜会同时出现原子序数忖度像和形貌寸度像 [打印本页]

作者: 妮子@ 时间: 2016-3-20 09:33 标题: 【求助】扫描电镜会同时出现原子序数忖度像和形貌寸度像

检测背散射电子时，会同时出现原子序数忖度像和形貌寸度像，将其分离时用到2个检测器，这2个检测器对原子序数信息产生的背散射电子信息相同，而对形貌信息互补。
那么这2个检测器各自工作原理是什么？有什么差别？为什么对形貌信息互补？

作者: QQ爱 时间: 2016-3-20 09:34 标题: 【回复】

SEM里面检测二次电子和背散射电子有两个检测器，检测背散射电子的检测器外面带的是负电，所以小能量的二次电子不会被收集到，背散射电子能量一般较高嘛，然后收集二次电子的检测器在收集电子入口加的是正电，至于怎么排除背散射电子或者要不要排除我就忘记啦

作者: hcy517 时间: 2016-3-20 09:34 标题: 【回复】

对于要检测样品表面的形貌和成分的样品，一般会采用双探头检测系统，因为背散射电子还是和形貌有点关系的，因此对于双探头来说，面对斜面的探头肯定得到更多的电子，背对的更少，对于总量来说，是不是互补的（简单的想散射的电子全部被这两个接受啦，当然，肯定没有全部收到），这两个探头得到的电子量分别都可以表现物体成分衬度，但是双探头更好的一点在于他们两个加起来得到的衬度图像更准确，而两个相减就是表面形貌图像啦(为什么是形貌就讲不来啦，自己理解)。

作者: yayayu 时间: 2016-3-20 09:35 标题: 【回复】

据我所知应当是背散射反映原子序数二次电子反映形貌啊楼主是否搞反了

作者: xgy412 时间: 2016-3-20 09:35 标题: 【回复】

两相原子序数差别很大时，高原子序数的相亮
二次电子像中高的地方亮倾斜的地方亮

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