标题:
SEM纳米尺度尺寸测量时的误差是多少?
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作者:
cnt64bit
时间:
2016-5-6 21:46
标题:
SEM纳米尺度尺寸测量时的误差是多少?
在测量纳米尺度的尺寸时(大概20nm左右),被要求添加误差(尺寸±误差范围)?不太熟悉SEM,请问大神们,SEM测量的误差范围是多少?
是单一的测量,不是统计值
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