小中大回复 #1 hewen0925 的帖子
1 一般前级机械真空泵因故障停止运行后,分子泵会自动关闭,一般不会有损坏。
2 检查修理机械泵的漏油问题后,加入新油,通电看看泵是否运转。有条件的话,可以单独给机械泵通电(不通过MS给电),看看是否运转和有抽气。
3 换过泵油后,可以开机查看仪器状况,如果机械泵油什么异常(例如异味,异常声音等),就马上关掉电源。在开机之前检查仪器连接是否正常。
4 真空是慢慢加上去的,开始几乎是无真空的。既是没有真空,只要离子源、四级杆等不加热、EMV不开,就不会损坏的。