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标题:[未解决]场发射扫描电镜可以做显微偏析吗?

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场发射扫描电镜可以做显微偏析吗?

我正在做材料的显微偏析(S和P),去年我用EPMA做,可是EPMA的成像不好(比不上扫描电镜),我没办法分辨微区(几个微米左右),另外材料中S含量很低,只有几十个ppm左右,SEM打不出来。我想问问大家,我这种情况,用场发射扫描电镜可以实现吗?如果不行,还有什么其他的方法可以实现啊?谢谢,我就靠这个博士毕业呢,呵呵。。。
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若s、p不是以某种形态,如粒子、化合物什么的存在,而是在固溶体中,则无法用SEM辨别形貌。 通常现扫或面扫可以确定偏析情况,但SEM附带的eds也无能为力,毕竟元素含量太少了。

对否?

[ 本帖最后由 77466 于 2009-10-26 14:38 编辑 ]
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是的,S、P是以固溶体的形式存在钢基体中,但是我并不是想看S、P的形貌,而是钢的枝晶干和二次枝晶臂处P、S含量的差异(也就是枝晶偏析),因为二次枝晶间距只有几个微米,S、P含量又很低,只有几十个ppm,所以很难,不知到采用什么方法好。
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一般SEM 佩戴的EDS分辨极限在700ppm,而WDS在100ppm左右,你的元素用能谱或波谱似乎都不行了。
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77466[使用道具]
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用TEM制作样品可能有一定难度,要保证在样品上顺利找到枝晶臂,干。
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TEM倒是能看得出,不过有谁能有办法把样品的位置做得那么精确呢,运气不是一般的好。难
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那先看看有没有场发射SEM上面配波谱的, 先试试吧. 但我估计可能用XPS或AES做可能会更合适吧
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