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标题:[未解决]开机出现异常

  [未解决]本主题悬赏 可用分 10  
tudou[使用道具]
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发表于 2009-10-29 09:27 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

开机出现异常

今天早上开机的时候,抽真空以后仪器自动放气,出现一个对话框“EVACUATION FAILURE please check related o-rings(Gun,stage,etc.)”，哪位大虾可以解释一下！谢谢！
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sjz[使用道具]
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发表于 2009-10-29 09:32 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
请检查样品台和样品室之间，或者是电子枪部位的o形密封圈是否良好，如果破损可更换，一般随机都有配件。
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yh_zhang[使用道具]
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发表于 2009-10-29 09:32 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
不好意思，您能不能更为详细得讲解一下您那边的情况？！
先报一下仪器的型号，钨灯丝还是场发射？您指的开机是否DISPLAY电源Power ON？之前您做过什么样的作业？等等。要不然工程师没法判断仪器的故障。
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番茄[使用道具]
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发表于 2009-10-29 09:33 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
真空有故障，请检查有关的O型圈（电子枪、载物台等）。在抽真空的过程中如果检测系统发现真空度降低，就会出现你说的那些情况。
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tudou[使用道具]
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发表于 2009-10-29 09:40 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
仪器型号:JSM-5610LV 用的是钨灯丝,就是早上正常开机,主机开了以后在抽真空的时候显示了那样的对话框
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sjz[使用道具]
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发表于 2009-10-29 09:40 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
用不掉纤维的绒布等蘸上酒精把样品仓门（特别是橡胶圈附近）擦拭干净，看看会不会好一点，这个地方脏了容易漏气
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yh_zhang[使用道具]
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发表于 2009-10-29 09:41 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
楼主的电镜和我差不多，我是JSM-5600LV，我也经常遇到这样的情况，建议从以下几个方面进行检查：
一.O形圈估计脏化，先把O形圈取下来用酒精擦拭一下 ，然后用真空脂均匀地抹在放置O形圈的地方，然后用酒精擦拭样品室仓门；
二.电子枪仓门的O形圈估计脏化，用同样的方法检查一下。
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heyang[使用道具]
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发表于 2009-10-29 09:42 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
是不是低真空更容易出现“脏化”？高真空似乎很少见这种故障！
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雀巢咖啡[使用道具]
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发表于 2009-10-29 09:49 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
机械泵自动关闭，说明系统漏气严重，不仅要检查O型密封圈，还要检查前级真空管路及接口，阀门，波纹管等。
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tudou[使用道具]
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发表于 2009-10-29 09:49 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
这种不存在高低真空脏化的区别，扫描电镜在使用的过程中来回的关闭仓门。再加上样品对电镜的污染，使用久了就会出现这个问题，不过没必要太担心，经常清洗就可以了！
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