扫描电镜之家

由于对电镜太不了解了，不要取笑啊：循环冷却器是用来给哪个部位降温的；还有就是氮气的作用是什么，是用来控制气阀的吧，还有其他的用途没有？

循环水冷机是用来冷却电镜部件的， 像物镜，离子泵，电子线路板等，氮气是用来给样本室放气的，保护作用， 驱动气阀的是空压机，空压机的另外一个作用是给避震气垫充气的。

离子泵怎么会用水冷,扩散泵才是哦!

谢谢各位的帮助。我用的是JEOL-6700F的电镜我们的电镜没有空压机呀，是否其功能都被氮气取代了？

扩散泵应该早就被涡轮分子泵代替了， 分子泵也可以水冷。
离子泵需要定期加热以提高真空度， 加热后的冷却需要水冷。

我没有用过您的机型， 不过要是您那里不用空压机的话，那么看来镜筒中的阀门是电动的，避震垫是固体橡胶的。
氮气我只知道用来给样本室放气，不知道还有其他功能。
另外顺便说一句，气阀要比电阀好得多，气垫避震也要比橡胶避震好得多，电阀和橡胶的好处是便宜，像是日本人的思路。

JEOL好像用氮气钢瓶来代替空压机的，道听途说，不知道是部分型号还是所有的。

冷却循环水机是为了冷却油扩散泵中的油分子以便制造真空环境的。

氮气一般是为了保护电镜内部，防止生锈的。

几乎所有欧系的都是涡轮泵加离子泵的，像FEI，ZEISS，TESCAN。。。。。。

分子泵淘汰扩散泵已经是不争的事实

首先声明一下,FEI的离子泵都是在Bake out之后自然冷却的,还没有哪个厂家蠢到用水冷的地步(至少FEI不是这样的).
离子泵也不需要定期加热的,除非换灯丝,加热就会引机械对中的偏差.合轴也是比较麻烦的事情,一般的用户是做不了的.

碰巧最近在学习罗茨泵，大概得了解了点离子泵的知识，吸气式离子泵大体上分为蒸发式和溅射式两种，蒸发式是需要加热的，工作温度大概在2000度左右，是需要冷却水的；溅射式工作温度在200~300度，没有特殊要求是不需要冷却水的；小型离子泵溅射式要好于蒸发式。纠正jeolzxj老师一点，几十年后如果有人说“没有哪个EDS厂家蠢到用液氮冷却的地步”，这是不可取的。

另外关于bake out的具体作用请两位老师给讲解一下，最好包括bake out对密封装置的影响和要求，看以前的帖子有cf sealing、in sealing之分（是指法兰密封么？），这个不太懂，请老师讲解，学生多谢了！