小中大回复 #17 物联网 的帖子
在解释之前,首先说一下,这是JEOL为信号选择过滤所设计的,各个公司基本都有,只是名称不一样,这里叫r-filter,r就是一些信号在不同电极下的运动的轨迹.还有要明确的是电子的运动方向一般是往正电极的方向.我只解释一幅图,其他的依次类推.红色的表示加的正电,深红的比粉红的电压高.蓝色的电极加负电,浅蓝的负电高些.褐色的不加电压.
在SE模式中,探头只接受二次电子,SE和BE从样品产生,AV极加+45V,电子被加速吸入到上面,L1L2L3L4极再加+5V的电压,电子继续往上,而U3,U4加上-30V,U1,U2为0V,电场变为斜向方向,这时SE因为能量低,容易改变方向,不能到达上面,就被探头吸收.而二次电子因为能量高,继续往上,到达RV,不能被探头接收.这时得到的图象信号就是二次电子.这时只能用SEI探头 (IN-LENS).