喷金装置上的抽真空的机械泵冒黑烟怎么回事呀？ - 分析百问 - 分析测试百科

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标题:[未解决]喷金装置上的抽真空的机械泵冒黑烟怎么回事呀？

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发表于 2009-12-8 10:52 资料个人空间短消息加为好友

小中大

喷金装置上的抽真空的机械泵冒黑烟怎么回事呀？

昨天给样品喷金的时候发现离子溅射仪的真空上不去，在一看机械泵出气口开始冒黑烟，请问是怎么回事？

下雨[使用道具]
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发表于 2009-12-8 10:52 资料个人空间短消息加为好友

小中大

真空系统有漏，机械泵在抽大气

中国结[使用道具]
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发表于 2009-12-8 10:52 资料个人空间短消息加为好友

小中大

谢谢，确实是由漏气的地方，找到原因了。一个橡胶垫片掉出来了

goodgood[使用道具]
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发表于 2009-12-8 10:53 资料个人空间短消息加为好友

小中大

厉害厉害！