小中大分享：XPS仪器厂商性能大比拼
目前主要的xps仪器生产厂家有：
1 。 ULVCA-PHI公司，原美国phisical electronics公司，产品型号有：phi-5000Versaprobe系列，Quantera系列。原大名鼎鼎的美国PE公司产品。
主要生产的xps特点是采用聚焦x射线技术，最小的x-ray光斑可以做到小于10um，并且具有专利的双束电荷中和系统(电子束和离子束)，中和效果极佳。同时，采用扫描x-ray技术可以获得二次电子图像，对微区定位分析很重要。但是产品价格高。采用聚焦x-ray技术。
2。岛津公司，原来的英国kratos公司，又是一家被日本公司收购的仪器公司，主要代表产品为：kratos-ultra DLD，其特点是采用了延迟线技术(DLD)，采集图像速度特别快。同时采用浸没透镜技术，提高一起的灵敏度。另外，其电子云中和技术也是依靠磁浸透镜。但是其小束斑技术信号差，对样品垂直位置放置要求严格，z轴高度在(-20um~+20um)。性能虽然差一点。采用虚拟探针技术。
3。 Thermal VG公司，产品的系列较多，K alpha, theta 300, theta 300xt, theta probe, ESCALAB250等等，主要技术特点是平行光成像技术，采用两各不同的检测器，一个负责采集谱图，一个负责采集图像，其主要缺点都是降低检测器的有效接收面积，原因是其中一个检测器(谱图)被当作光栅使用。性能更差。采用虚拟探针技术。
