小中大单晶金刚石研磨液
在国际上,美国发明的多氨192C是世界上先进的悬浮状单晶金刚石研磨液。其特征为:具有非常高的稀释能力,大约可掺入12～14倍的水;在很高的稀释情况下有着超强的悬浮特性且完全水溶;而且192C具有生物降解能力。192C是一种白色略带刺激性气味的奶状液体,显弱碱性;但其价格昂贵、粘度大、表面吸附比较严重,难以清洗,这直接影响磨片的一次成品率,且对下道工序及高质量器件制备带来危害。所以如何提高单晶金刚石研磨液性能,提高研磨效率,减小硅粉粒子、磨料、金属离子在表面的吸附,便于清洗是当前硅片研磨工艺中急待解决的课题。本公司通过大量的对比实验研究,对单晶金刚石研磨液成分的选择及配比进行了分析优化,提高了单晶金刚石研磨液的悬浮性,并便于清洗。。。。。。
