小中大

总结：ICP-MS点不着火原因

　　1：查询气路是否漏气

　　2：清洗进样管及雾化系统

　　3：更换机械泵油

　　4：更换炬管的衬管，采样锥，截取锥的O形圈

　　5：重复开关interface gate

　　6：检查一下冷循环水压是否正常，不行更换一瓶新氩气看看

　　7：1.炬管位置 2.点火部件是否不干净或接触不好 3.RF功率太低

　　8：点火最主要的原因还是气的问题,包括供气不足,气体不纯或者局部环境气体不纯,局部气体不纯可能由于外接了第三气路中的残留气体或者由于雾化器产生了过量的气溶胶