二次离子质谱(S IM S) 比其他表面微区分析方法更灵敏。由于
应用了中性原子、液态金属离子、多原子离子和激光一次束, 后电离
技术, 离子反射型飞行时间质量分析器, 离子延迟探测技术和计算
机图像处理技术等, 使得新型的S IM S 的一次束能量提高到M eV ,
束斑至亚Lm, 质量分辨率达到15 000, 横向和纵向分辨率小于0. 5
Lm 和5 nm , 探测限为ngög, 能给出二维和三维图像信息。S IM S 能
用于矿物、核物质、陨石和宇宙物质的半定量元素含量和同位素丰
度测定, 能鉴定出高挥发性、热不稳定性的生物大分子, 能进行横向
和纵向剖析, 能进行单颗粒物、团蔟、聚合物、微电子晶体、生物芯
片、生物细胞同位素标记和单核苷酸多肽性分型(SN P) 测定, 能观测
出含有2 000 碱基对的脱氧核糖核酸(DNA ) 的准分子离子峰。以
S IM S 在同位素、颗粒物、大分子、生物等研究领域的应用为重点, 结
合实例, 对S IM S 仪器和技术进展进行了综述
附件下载：二次离子质谱(SIMS) 分析技术及应用进展
