小中大转载：飞行时间-二次离子质谱仪（TOF-SIMS）
tof-sims (time-of-flight Secondary ion mass spectrometer)是飞行时间-二次离子质谱仪，它可以进行全元素分析，包括H，同时还可以分析元素的全部同位素。对有机物，无机物都能进行分析，而且对样品导电性能无任何要求，仪器的灵敏度高，可以检测出ppb~ppt量级的杂质。其基本的原理，采用脉冲粒子束轰击样品表面使其产生二次离子(正离子，负离子)，产生的二次离子经过一个漂移管到达检测器。根据不同离子的荷质比不同，所以在漂移管中的飞行时间也不相同，质量数小的离子先到达检测器，质量大的后到达检测器，这样就实现了质谱的分离。
1 基本原理：
入射粒子束的能量为E0，根据能量守恒原理
E0=1/2 mv^2
t=L/V
所以，离子在漂移管中的飞行时间与其质量的1/2成正比，所以，质量越大，飞行时间越长。
2 分析模式
两种工作模式：正离子谱模式和负离子谱模式
我们知道不同元素的电负性不同，所以得失电子的能力也不同，有的元素易于形成负离子(如第七主族的卤素元素)，有的易于形成正离子(如第一主族的碱金属元素)。所以，分析的过程可根据实际需要选择正离子或者是负离子的工作模式。
3 样品要求：
一般可以分析固体样品，液体样品也可，但是液体要求黏度要大，真空中不挥发。由于仪器的灵敏度高，所以样品制备过程要防止其受到污染。
