小中大共享：TOF-SIMS原理和应用
TOF-SIMS 采用一次的脉冲离子源激发固体表面的原子和分子基团脱附或离化。所产生的二次离子被加速到在质谱仪中，并按照从样品到检测器的飞行时间而分离。细聚焦的离子束在样品表面扫描形成成分图。深度分布用离子束将材料表面一层层除去的同时分析该层的质谱图而构建。
• 分析所有的导体，半导体和绝缘体
• 并行性分析原子和分子基团,有机物和无机物
• 检测和分辨所有的元素和同位素
• 识别高分子量有机分子
• 检测限达到十亿分之一 (ppb)
• 二维和三维表征
• 二维和三维表征
