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标题:[未解决]【转载】【求助】ICP-MS7700s IF/BK 沒有顯示值

  [未解决]本主题悬赏 可用分 1  
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发表于 2014-10-11 20:47 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大

【转载】【求助】ICP-MS7700s IF/BK 沒有顯示值

vacuum on之後IF/BK沒有顯示值，是電板坏了嗎？

機台是在plasma on的状态下突然熄火，pump就啓動不了了。機械pump有運轉，但是界面上沒有壓力顯示
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adg[使用道具]
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发表于 2014-10-11 20:48 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
第一次發帖，帖子都找不到了阿
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iop[使用道具]
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发表于 2014-10-11 20:49 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
确定pump是在运转的么？
分子涡轮泵关机后降低到0转速要一定的时间的，也许您听到的是它在降速的声音？
如果不是的话，关闭电脑，shutdown主机，重新开机再试试。A家的机器有时候的错误是莫名其妙但又不影响的。
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发表于 2014-10-11 20:50 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
分子涡轮泵不能啓動, vacuum (IF/BK) time out. vacuum too high to start turbo pump.電腦重啓了沒有用
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jiushi[使用道具]
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发表于 2014-10-11 20:51 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
咨询下工程师吧，以前我这边的7700s也出现过 vacuum time out的错误，软件更新了就没了。但是您这个问题可能不单单只与软件有关的。
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vbnm[使用道具]
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发表于 2014-10-11 20:52 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
我估计 IF/BK valve 没切换，压强大于20 Pa，分子涡轮泵没启动。最好找安捷伦维修工程师现场确认。
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teddy[使用道具]
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发表于 2014-10-11 20:54 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
我估计 IF/BK valve 没切换，压强大于20 Pa，分子涡轮泵没启动。最好找安捷伦维修工程师现场确认。
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shuishui[使用道具]
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发表于 2014-10-11 21:05 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
應該是IF/BK pressure gauge坏掉了,今天Agilent工程師來換了,好了已經
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happydream[使用道具]
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发表于 2014-10-11 21:07 资料 个人空间 短消息  加为好友 

 小中大
你们的机器是哪个型号，用了多久pressure gauge就坏掉了？界面没有压力指示，其他正常，倒推回去应该是传感器（pressure gauge）故障。
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