核磁共振

　　波谱分析和能谱分析均能进行微区分析，波谱分析发展较早，但进展不大;近年来能谱分析成为微区分析的主要手段。

　　两种方法比较如下：

　　1通常的能谱仪对入射X射线的吸收无法探测到超轻元素的特征X射线，但近年老出现的单窗口轻元素探测器，可同波谱仪探测器一样探测范围从B(5)到U(92)，甚至还可探测Be。

　　2能谱仪接受信号范围宽，需时短。

　　3波谱仪的几何收集效率和量子效率均低于能谱仪。$ F3 Q# A( F" }/ W7 M$ G% T

　　4能谱仪造价比波谱仪低，且操作简便。

　　5能谱仪检测器的分辨率较低，谱峰重叠严重，信噪比较差。

　　6能谱中存在失真，是分析误差的来源;波谱中失真较少。

　　7由于能谱仪的一些问题引起分析误差，导致数据处理的复杂性;波谱仪的数据处理相对比较简单。8 B1 g2 ]4 m) g( u7 p# H3 v 8波谱仪和能谱仪的空间分辨率基本相同。