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标题:[未解决]拍出来的图片质量不佳,象散也很难调好求助

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mico_11[使用道具]
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拍出来的图片质量不佳,象散也很难调好求助

实验室这台冷场发射扫描电镜S-4800已经使用了两三年了,上次烘烤完感觉还是可以的,但是今年二月初刚烘烤完,发现拍出来的图片质量不佳,象散也很难调好(在大概200K的时候),忖度也不行,(烘烤完已经机械对中过了),有哪只龙虾章鱼大闸蟹之类的遇到过这类问题,或者是比较了解扫描电镜的?我这只旱鸭子现在就多多指教啦!所有会水的愿意赐教的留个言吧,wag wag~
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花花[使用道具]
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真空度好坏是有没有污染的一种表现
几个原因,慢慢分析排除试试看:
1. 真空,你说刚烘烤过,应该没问题
2. 灯丝,冷阴极的灯丝,应该很耐用,再说4800拍20万,小菜。
3. 样品,可以通过标样,或者喷金试试看,如果喷金后的颗粒仍然不佳,不知道是不是光路上有污染导致的了。如果标样很清晰,那么跟样品有关了。
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读过书的[使用道具]
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我没有怎么用过这个型号,具体怎么处理不是太清楚。不过sem也就那几个地方能出问题,都基本类似。灯丝的问题不清楚,发射电流都没问题的话,可能问题不大。
你可以拿一个金在碳上的标样,尝试拍拍高倍。如果WD在2-3 mm左右,20万还是不清楚,可能真的和光路的污染有关系了。比如你们是不是常看一些含水或者有机物样品,如果真是这样,可能需要清理光路,也可能多做两次烘烤就会好,不过具体的处理最好问问工程师。
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fantacy[使用道具]
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可能是电流也有原因,我早上flash的时候,发现电流达到72点几了,不知道你那台仪器刚flash的时候显示的电流值是多少?WD工作距离不敢随意调换,一般都是8.0左右,除非做EDX,把工作距离转到15.
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hey_bye[使用道具]
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我没怎么用过,不是很熟悉这个参数。如果flash的频率频繁,可能真的是烘烤不足或者样品产生的污染气体多。
虽然8 mm的确够拍20万,但建议放低到3-5 mm,我记得甚至可以到1.5 mm,只要样品表面平整,应该不是问题。仪器是拿来用的,合理范围内完全不要担心。
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fantacy[使用道具]
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刚才你说灯丝用了两年多,也有可能电子束斑的大小不能控制那么小了,因为SEM的分辨率跟电子束斑有很大关系。不过这要等你拍了标样的照片才能确定。
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兜兜[使用道具]
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是不是灯丝用了两年,保质期就到了呢?冷阴极没有这么快,因为不用像热阴极一样24小时点着,据说4-5年没问题,别太担心。
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mr.henry[使用道具]
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如果你的样品很容易脏了腔体的话,可以考虑在电镜上装个等离子清洗机,这个比烘烤效果要好太多哦
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娜爷~[使用道具]
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烘烤好像是为了提高真空度的吧,就是尤其象冬天这样,在杭州老下雨,一个寒假过来里面真空度下降,就需要烘烤把里面的水分什么的蒸发,真空度能一下子提高好多。
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小书虫[使用道具]
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烘烤也能去除一定的污染,但是效率非常差
真空度好坏是有没有污染的一种表现
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