小中大看您的的实验目的,
如果仅仅对块状材料内部的颗粒做个大概了解,我想一般采用观察断口的方式就可以,不需要样品观测表面抛光,用扫描电镜操作软件自带的几何参数测量工具就可以了,一般是手动划线显示结果直接标注在图像上,当然结果可以保存在图像上也可以清除。
如果需要对颗粒的几何形态做出全面准确的表征,并且统计其颗粒度,那就需要取断面,抛光,然后使用SE或者BSE信号扫描电镜观察,图像采集完,用颗粒度分析软件,采用阈值分割,二值化,把目标颗粒提取出来,自动计算几何参数,并作出分布统计。
如果对自动统计结果要求精度高,就需要设定几~几十平方毫米的区域,根据需要的放大倍数,把需要统计的区域分割成很多小的区域,然后自动一个接一个区域的进行图像采集,颗粒提取计算,最后统计出结果。这需要高精度的自动样品台按照事先的程序来执行区域的转换。
颗粒度分析软件一般扫描电镜都是选购软件,单独出售。
当前的扫描电镜配的能谱仪也有相应的颗粒度选购软件,对于多种成分的粉末或者颗粒,还能在作出颗粒形态统计的同时,作出成分鉴定,然后按照化学成分进行分类。当然还可以选购自动马达台控制软件从而实现大面积的连续准确分析。