EDX ,ICP, XRF三者的测试原理,以及检测的差异性

  EDX也是属于 XRF的能量色散型,还有种 WDX波长色散型,不过现在市面上多是EDX。 XRF用的物理原理,通过X射线穿透原子内部电子,由外层电子补给产生的能量差来判断属于何种元素。所以它只能测元素而不能测化合物。 ICP则需要对样品进行溶解,采用的是化学方法,测试的是样品的溶液,它的精确度和准确度当然比XRF要高了。