小中大CCD是一对硅型金属——氧化物半导体芯片，在25.4
mm×2 mm面积上有512～3*!000个感光点，独立进行光电测量，互不干扰。电脑可以随时监控积分情况，动态线性范围宽，可同时测定样品中的主量、次量和微量。也由于全谱信息最大，可供选择的灵敏不同的分析线多，由于有如此大量的信息量，排除光谱线干扰是易于做到的，而且是全谱同时曝光，可实现正确无误的背景扣除。在低温（-80℃）保护下，检测器噪音很小，而量子转换效率高，灵敏度比光电倍增管高，因此元素光谱测定灵敏度高，可提高3~30倍，仪器测量精度可达0.5%.在目前的仪器中已经基本上不采用低温保护。
采用中阶梯光栅，色散与分辨与光谱级数成正比，色散和分辨率很高，易于排除干扰，作光谱精细结构研究。
－－－转摘^_^
