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标题:【求助】来开机涡轮分子泵启动不了,只有机械泵在...

qumm1985[使用道具]
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【求助】来开机涡轮分子泵启动不了,只有机械泵在...

放假前还出差了一个礼拜,今天来就出现了上述故障
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mod=8048[使用道具]
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看看log
基本是涡轮泵不行了
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seagate[使用道具]
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是不是有漏气的地方?
机械泵在抽到一定的真空度之后分子涡轮泵才能工作吧
长时间达不到真空度,可能就停了
上次我们气质遇到过这样的情况,可能情况有些相似吧
楼主检查一下管路看看
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finger[使用道具]
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分子涡轮泵好像不怎么容易坏吧。
还是楼上的观点,是那里漏气。检查下。。
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baidukk[使用道具]
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前级泵粗真空到达多少就停掉了呢?高真空有上升吗?有漏气的可能,但是一般管路都不会去动,所以分子涡轮泵挂掉的几率很大,不知楼主是哪家的仪器,什么型号?
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qumm1985[使用道具]
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我是安捷伦的6140,管路都没有动过啊 现在就怕涡轮泵坏了,上星期有个同事连续的开机关机了两次,她以为分子涡轮泵的声音要爆炸,真是悲剧啊,我先去查查有没有漏气的地方。
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cbou876[使用道具]
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把上面的盖子打开,找个长点的peek管在上面碰一下涡轮泵的叶轮,要是转的不灵敏基本就是挂掉了。
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cbou876[使用道具]
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QUOTE:
原帖由 qumm1985 于 2015-5-19 22:20 发表 bbcodeurl('http://bbs.antpedia.com/images/common/back.gif', '%s')
我是安捷伦的6140,管路都没有动过啊 现在就怕涡轮泵坏了,上星期有个同事连续的开机关机了两次,她以为分子涡轮泵的声音要爆炸,真是悲剧啊,我先去查查有没有漏气的地方。 ...

连续开关机吗?这样对分子涡轮泵确实是一种损害!
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qumm1985[使用道具]
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QUOTE:
原帖由 cbou876 于 2015-5-19 22:20 发表 bbcodeurl('http://bbs.antpedia.com/images/common/back.gif', '%s')
把上面的盖子打开,找个长点的peek管在上面碰一下涡轮泵的叶轮,要是转的不灵敏基本就是挂掉了。

这个太牛了吧 要只在转的话 是好的这样碰一下肯定坏了
另外涡轮分子泵正常的情况的声音是很大的,今天开起来一点声音也没有,千万不要涡轮泵坏了啊,要不老板就要发火了
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qumm1985[使用道具]
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还有LCMS基本上不会出现漏气的,还没听说过LCMS漏气的
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