小中大X-光与物质作用时主要受到电子的散射,无论物质是否呈结晶态,都会存在非弹性散射(即Compton散射)。由于Compton散射改变了X-光动量和能量(矢量速度改变),运动方向和速率(对应波长)同时改变,且散射角越大波长变化越大。可以预测,大部分散射X-光集中于散射角变化较小的范围内,因此不难理解入射角度越低接收到的散射信号越强。
从另一方面解释,X-光在两种介质界面处的传播有反射和折射两种现象,因物质对X-光的折射率小于1,当X-光以低于临界角(与X-光波长和原子序数有关)的角度掠入射到固体表面时,尽管入射深度极为有限,在忽略样品吸收情况下可视为发生全反射,但样品吸收是实际存在的,随掠入射角提高反射率是逐渐下降的。
当然,由于样品的理化性质差异、制样时的表观密度、平整度、均匀度以及重现性,都是造成背景显著性差异的原因,不一定是仪器的问题
。